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  • 时间:2019-06-07 14:51:04
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特别是指金属澳门永利集团网址防腐蚀处理方法。金属腐蚀遍及国民经济和国防建设各个领域,金属澳门永利集团网址防腐蚀处理方法金属澳门永利集团网址防腐蚀处理方法本发明属于新材料领域。危害十分严重。首先,腐蚀会造成重大的直接或间接的经济损失。据工业发达的国家的统计,因腐蚀造成的经济损失约占当年国民经济生产总值的1.5%-4.2%其次,金属腐蚀,特别是应力腐蚀和腐蚀疲劳,往往会造成灾难性重大事故,危及人身安全。再者,腐蚀不但损耗大量金属,而且浪费了大量能源,每年因腐蚀要损耗10%-20%金属。另外,石油、化工、农药等工业生产中,因腐蚀造成的设备跑、冒、滴、漏,不但造成经济损失,还可能使有毒物质泄漏,造成澳门永利集团网址环境污染,危及人民健康。同时,腐蚀还可能成为生产发展和科技进步的障碍。澳门永利集团网址合金在各种环境作用下发生的腐蚀遍及国民经济的各个部门,造成巨大损失。为了防止腐蚀的发生,现已经有多种技术用来防止腐蚀的发生。其中主要的防腐技术是采用氧化膜技术,防腐漆技术和缓蚀剂技术。各种金属腐蚀的防护技术中,缓蚀剂技术由于工艺简单、适用性强而成为最有效和最常用的方法之一。但是缓蚀剂技术有明显的局限性,缓蚀剂应用最为广泛的液相介质中,缓蚀剂必须有一定的溶解度,而且必须达到一定的浓度。传统的缓蚀剂由于毒性较大,给环境造成了污染;同时,由于澳门永利集团网址缓蚀剂用量较小,外界微小的变化就会对体系造成较大的影响,这也给缓蚀机理的研究带来了很大的难度,这些因素限制了缓蚀剂的进一步发展。目前在生产半导体晶片中使用的许多处理系统出于提高系统产量的目的能 够一次加工一个以上的晶片。澳门永利集团网址然而现有技术中声称,与多晶片处理室结构相比,单晶 片处理室提供了更一致的处理结果。大概,跨晶片(across-waf和“站到站 station-to-st中的这种一致性的下降被认为可直接归因于在共用的处理室和环 境中的相邻晶片处理站之间的连通。然而,特别是考虑到不断减少的器件特征尺寸的工业重点,处理一致性越来越受 关注。美国专利No.5855681下文称飞81专利)中看到一个例子,

79.jpg其试图在与在共用处理环境中的批处理有关的所谓的串扰(cross-talk污染问题和使用单晶片处理 室时产量有限之间提供折中办法。该专利采纳了串联”单晶片处理室的使用,其具有被描 述为相互分离开的处理区(见第4栏第37-40行)单个室本体被用于限定出这些在处理 站之间使用共用室壁的处理区。该专利认为依靠将相邻处理区之间的连通限制为仅仅通过 排放系统选择性地发生而使得由每个串联室限定的处理区与其它串联室的处理区可隔绝 开。这样的选择性连通大概是基于真空泵系统的泵送状态来被控制。除此以外,从处理的角 度看,串联室的功能看起来和一对分开的单晶片处理室基本相同(例如,见第2栏第54-56行)这点上,系统用于在至少两个区域(见第4栏第44-51行)同时进行的多个、独立 工序,合理地建议了第一工序可以在串联室的一个处理区内进行,同时第二、不同的工序 同一串联室的另一处理区内进行。虽然为了每个室内同时实行不同工序而提供的飞81专利的分离的串联室所声 铝板称的能力可能有相关的优点,但是这里认识到要担心的即使在两个室内都实行相同 工序,处理室可能提供不同的结果,因为每个室中的条件过于独立并且没有使这些条件 保持相等的反馈控制。例如,如果有任何趋势在排放通道621内产生污染物这就会发生,导 致一个室内的压力相对于另一室的压力不同。考虑到上述问题和虽然飞81室设计的总体 复杂性目的于改善“串扰”问题,但导致处理室的成本高,因此相信需要进一步的改善。上述相关技术的例子及其相关的局限性目的于示例而不是排它性的阅读 说明书和学习了附图后,相关技术的其它局限性对于本领域的技术人员来说是显而易见 


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